蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,真空泵品牌,故都需要把泵组合起来使用。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到真空有一个很大的范围,真空泵排出来的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵底座下应保持地基水平,真空泵生产厂,泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。较高且齿轮拆装不便,真空泵维修服务,润滑机构也相对复杂。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。立式结构的进、排气口水平设置,台湾真空泵,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用“真空度高”和“低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示“差”的意思。